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产研神光等国内首创光刻机用高纯合成熔石英材料
广西产研神光先进光学研究中心有限公司以自产的高纯石英砣(含量99.9999%以上)为原料，经材料关键性能提升、面型精密加工等关键工艺过程制备光刻机用石英材料。该石英材料应用于光刻机物镜系统和照明系统，在国内率先通过国产光刻机制造单位批量化的应用验证，当前正在为国内两家著名的光刻机制造单位供货，有效推动了光刻机国产化进程，实现了国产化替代。
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